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商品编号：90136

4寸小型探针台晶圆测试探针台

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产地：更新时间：2021-05-12 14:11

品牌：其他型号：CS-4

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• 4"卡盘，采用中心吸附孔和3圈吸附环固定样品，分别由3个开关独立控制
• 卡盘X-Y的移动范围4＇＇X4＇＇，移动精度：10微米
• 卡盘可以360度旋转，细调精度不大于0.1度，带有锁定旋钮
• 卡盘可以升降，行程8mm，微调精度1um，带锁死装置
• Chuck可以附加独立的校准片载台，以符合未来扩展射频量测的需求。
• 显微镜环绕立柱旋转式设计，便于快速移动显微镜，显微镜移动范围覆盖样品台
体视显微镜规格：
• 变焦：0.8倍~5倍，总放大倍率：16倍~200倍
• 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm，倾斜360°旋转
• 显微镜在X，Y，Z轴方向的调节范围：>50.8mm，调节精度小于2微米
• 工作距离:115mm,加装2倍辅助镜工作距离40mm；
• 带CCD接口和0.4XC-mount
• *小分辨率Q2um
• 带外置LED高亮无极调节亮度环形光源
CCD规格
• 1/2.8"SonyIMX236(C)传感器
• 1200万像素，分辨率2.8*2.8um
• HDMI高清接口，图片分辨率1920x1080
• 超高动态反应速率，60帧/秒
• 内嵌控制测量软件XcamView，USB鼠标实现控制
• SD卡插槽，图片存储用,送32GSD卡