产品简介

CL系列 分为CL-4，CL-6，CL-8三个规格

CL系列探针台测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。

参数规格

CL系列总体规格特点                                                                                       

●  重量:

         CL-4 50KG左右（带显微镜）

         CL-6 60KG左右（带显微镜）

         CL-8 80KG左右（带显微镜）

●  尺寸：

         CL-4约 560mm宽*610mm长*550mm高（带显微镜）  

         CL-6 约600mm长*650mm宽*600mm高（带显微镜）

         CL-8 约640mm长*720mm宽*620mm高（带显微镜）

CL系列探针座台面规格

●  探针台台面平整度：5µm。

●  CL-4台面可以同时容纳8-10个探针座

    CL-6，CL-8分别可以同时容纳10-12个探针座

    CL-12台面可以同时容纳12个以上探针座

卡盘（载物台）规格  （可选配镀金卡盘，高温加热卡盘）

●  卡盘尺寸分为4" ，6"，8"三种

卡盘平整度：5µm，采用空吸附方式吸附，带空吸附孔，中心孔径小可做到250微米（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，大能够吸住尺寸为4"X4"（6"X6"，8"X8"）。

●  卡盘可30度旋转，方便点测时样品在X-Y轴方向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮）。

●  卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为4"X4"（6"X6"，8"X8"），移动精度为20um，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。

2、仪器各部件名称：

        （倾仰夹头）      →   
          

                      （面的夹头按需要可上下调节）

     （将此滑套往后推，用镊子夹住探针推入夹针孔内）   →         

       (将锁紧螺母拧松，将夹具杆推入合适的位置)

CL-6探针测试台配件

1、高倍率金相显微镜（选配）

2、体式显微镜  （可选配高倍率晶相显微镜）

产品参数和特点：

①　鉴别力高，视场范围大，景深长。

②　工作距离长至115mm。

③　左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。

④　 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。

⑤　本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。

⑥　 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点：

产品造型比较新颖。

机械特性优越，操作舒适度高。

光学系统鉴别力达300线对以上，符合际标准。

超长的工作距离位于内同行之。

独有的3A设计。

创见性人机学设计，产品细节考虑全面。


3A特性：
密封性－－－－－－-防尘,防油防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘防油防水或其它污染－－－－-这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性－－－－－－使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电－－－－－－防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等域。


 

3、针座和探针夹具（可选）

4、JVC模拟CCD

特点

l 1/3寸CCD,44万像素

l 535电视线的水平分辨率

l 0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC开启）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 内置10bit 数字图像处理器

Winfast XP100视频采集卡  

特性

l 可选择的影像来源信号

可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像

输出设备，如录放影机、***庭摄影机、雷射光碟机、

影音光碟机及CCD摄影机，提供全方位的解决方案。                        

l 可编辑剪接影像片段

可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种***与剪接编辑

5、电信测试系统

Triaxial线缆

 台湾BEST探针夹具

 管状夹具

弹簧夹具
 

螺旋夹具




 

Triaxial 转接头  


 

6、探针

美GGB

型号	针尖直径	针杆直径	针长	材质	根/盒
软针类:适用于集成电路内部线路点针
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.7 微米针须焊接于镍质针杆上
硬针类:适用于集成电路电点针
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10

7、空泵

日东工器VP0125

规格：

l 电压：AC220V

l 流量：7L/min            

l 空度：-60KPa

l 质量：0.7Kg

功能

l 提供空动力源。

l 配合 CHUCK上的空吸附孔来固定样品。

l 配合空吸附型探针座，固定探针座。

特点

● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟，可24小时无间断运转。

8、防震桌   

特点：隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

技术参数：

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

           
尺寸可根据客户需求定制

9、屏蔽箱   

CINDBEST CB-6（选配）

参数和特点

●  尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高

●  屏蔽光线和电磁干扰。

●  匹配探针台和防震桌设计。

●  可根据客户定制。

●  与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。

●  屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。

10、品牌型号：CINDBEST  HT-400-4

3.1  4英寸卡盘

3.2  直流电源低噪音

3.3  空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盘面 3.四英寸盘面

3.4  PID温度控制器分辨率:1℃

3.5  温度漂移：≤0.01%FS/℃

3.6  温度误差：室温加温到300度，任何区段+-1%

3.7  40段程序编排，30段具备自动跳转功能

CL-6探针测试台的使用方法

1、 将样品载入空卡盘，开启空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

探针座点针测试

 1、 固定样品

将待测器件载入卡盘，调整好待测位置后,开启空阀门控制开关，将WAFER/芯片或其它样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、观测待测位置

打开光源，调整光源合适的亮度，使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将待观察点移动至显微镜下，同时调节显微镜的倍率，先可放到低倍率找到待测点，使用样平台X-Y平移将待测点移动到视野正中间，再更换高倍率物镜，将影像调节清晰。

3、 点针

待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座上下左右三个旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，当视野中针尖有向移动的趋势，证明已经接触。（也可以使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触）

4、测试

确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

CL-6探针测试台的注意事项

 当您使用本仪器时，可能会碰到些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。

CL-6探针测试台的维护和保养

1、 电源使用

电源：220±10%，50—60Hz

2、 避免碰撞

探针台所使用的牙具为是非常精密的机械部件，在使用和运输过程中务必注意轻拿轻放，严禁磕碰，以免损坏仪器或影响机械精度。

3、环境控制

使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

4、 机台清洁

● 每次使用完毕后，需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免泥沙等污物将接口堵塞导致接触不良。

● 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以湿布轻轻擦拭并吹干即可。机体表面有黏着物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶剂或喷雾式杀虫剂喷之，以避免发生变色现象。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

● 定期使用润滑油或润滑脂对活动结构进行清洁和保护。

● U型平台要定期用无水酒精清洗，使用防锈油浸泡天，然后再使用无水酒精擦拭干净。

5、不要随意拆卸

不当的拆卸可能造成仪器损坏或降低精度与性能，因此，除非是特别指定可以拆开的部位，否则不要随意拆卸机械结构。