类型

规格

Chuck（卡盘）

尺寸：4英寸，圆形

材质：不绣钢（可升级镀金）

旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

X-Y移动行程：2" x3"，移动精度：10um（可升级为1um精度）

吸附孔：中心孔径*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为4"X4"

整体规格

T型平台，轻巧方便。

平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固

外尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜)

重量：30KG（带显微镜）

特点

类型

规格

*客户定制

*升级龙门结构，精度更高，操作更方便

*采用motic金相显微镜

*适合安装探针卡

*可加装加热台

*可升级做射频测试

chuck（卡盘）

尺寸：4英寸（6英寸，8英寸，12英寸可选）

材质：不锈钢（可镀金）

旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（移动行程可升级为6‘’x6‘’）

吸附孔：中心孔径*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm

升降调节：8MM

显微镜系统

高解析度长工作距离显微镜

显微镜 X-Y 平面移动范围4 英寸 x 4 英寸，移动精度≤1 微米（升级龙门式结构）

显微镜 Z 轴移动行程：50mm

加装500万像素高清CCD（配置软件，可对一般的几何图形进行测量和分析）

整体规格

尺寸：580*580*620mm（带显微镜）

重量：70KG

表面涂装：白色（黑色可选）

可选配件：

加热台、防震桌、屏蔽箱、高压夹具、高压探针、射频探针等