太阳能电池测试探针台参数规格

规格如下：

chuck（卡盘）

*尺寸：4英寸，圆形（方形可选）

*材质：不绣钢（可升***镀金）

*旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1

*X-Y移动行程：4" x4"

*移动精度：10um（可升***为1um精度）

*平坦度：10um

*吸附孔：中心孔径*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为4"X4"


太阳能电池测试探针台配件

1、CB-40-T     

2.0um探针座

*X-Y-Z移动行程：12 x 12 x 12mm

*移动精度：2 微米

*移动方式:线性移动/无后座力移动

*丝杠精度：80 Thread / Inch

*I/O Pad 点测

*固定方式：磁力翻转，带磁性开关

*尺寸：52宽 x 96长 x 76mm高

*重量：350 克

2、CB-GZ-100

管状夹具

固定方式

通过内铜管固定探针

外铜管屏蔽杂讯干扰，内外铜管之间是绝缘层。可以选择后端连接普通线缆同轴线缆或者三轴线缆。

漏电精度

mA***：

接普通PVC线缆+香蕉头

10pA***：

接同轴线缆+BNC接头

100fA***：

接三轴线缆+Trixial接头（需配合屏蔽箱）

3、美***GGB探针

型号	针尖直径	针杆直径	针长	材质	根/盒
软针类:适用于集成电路内部线路点针
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬钨材质	5
	0.7 微米针须焊接于镍质针杆上
硬针类:适用于集成电路电极点针
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬钨材质	10
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬钨/铍铜材质	10

 4、 名称：屏蔽箱/黑箱

  •屏蔽光及EMI各类干扰信号，使量测精度更高

  •尺寸可以定制

整体精度：1UM




5、防震桌


特点：隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德***FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

技术参数：

台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢

平台表面粗糙度0.5〜0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有频率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重复定位精度±0.10 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

具体尺寸可根据客户需求定制

6、真空泵

日东工器VP0125

规格：

l 电压：AC220V

l 流量：7L/min            

l 真空度：-60KPa

l 质量：0.7Kg

功能

l 提供真空动力源。

l 配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。

l 配合真空吸附型探针座，固定探针座。

特点

● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。

● 7升/分钟，可24小时无间断运转。

探针台的使用方法

1、 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，*后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。