仪器简介：

VEGA 3 XMU/XMH是***款以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.

1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。 
2.成像速度快。 
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小， 
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。 
11.完全自动的软件安装. 
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;

I.影像显示尺寸 
1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 
2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9种方式。 
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。

II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶***式或连续式的调整。

III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。

IV.动态聚焦,点&线扫描

V. 图像处理(Image processing)：提供锐化(Sharpening)o自动对比调整(Auto Contrast)o去噪声 
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。

VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能

VII.图像存盘： 
1).浏览已储存图像的相本。 
2).找寻已储存图像的数据库系统。 
3).报告产生及从程序中直接打印。 
4).实时或储存的图像均可处理。 
13.卓越的分析品质; 
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 
6)关机时间设定：可以设定***次自动关机时间。 
7)公差 
可选配软件 
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 
10)自动连续截图 
11)样品观测 
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。

技术参数：

1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30keV，8.0nm at 3keV
                         (背散射电子): 3.5 nm at 30 keV
              低真空(低真空二次电子)s3.5 nm at 30 keV 
2.放大倍数:1 to 1000000× 
3.真空系统: 低真空3~2000Pa
4.加速电压0.2KV to 30KV 
5.电子束电流1pA—2uA 
6.样品室内部尺寸:285mm(width)×340mm(depth) 
7.样品台行程:(5轴马达控制） 
X=130mm 
Y=130mm                                                                           Z=100mm 
T=-30°到+90° 
R=360°连续 
样品高度145mm. 
样品台承受重量10Kg，是现有可载重的扫描电子显微镜。

*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜

主要特点：

***内******使用中文操作界面的电镜厂商 
1.电磁式电子枪自动对中; 
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便的寻找样品位置; 
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 
4.真空系统采用***台机械泵和***台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 
5.采用气垫减震系统，减少对安装环境的要求
6.的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 
7.11个以上外扩展接口. 
8.可对SEM进行远程控制 
9.*适合体积和重量大，不方便切割的样品观察和研究。