SmartWLI-Double Z-axis双轴三维形貌轮廓仪

SmartWLI-Prime双轴三维形貌轮廓仪

配备0.1nm高分辨率的小量程Z轴和小于100nm分辨率的大量程Z轴

该产品将两种Z轴方向的移动控制模式整合在***起，是两种模式***体化，可以实现两种Z轴移动模式的自由切换，测量范围从nm水平到mm水平，实现纳米分辨率到亚微米分辨率，可测量不同类型的产品，适用于大轮廓形貌到微小形貌的多种应用需求。

v产品特点

1．两种Z轴移动控制模式，压电陶瓷马达控制小量程和步进电机控制大量程,整体测量范围实现0.1nm~100mm；

2．小量程Z轴实现***大400um的测量范围，测量分辨率在PSI模式下0.1nm；

3．大量程Z轴实现***大100mm的测量范围，测量分辨率小于100nm；

4．Z轴方向移动的实现自动控制，通过相关软件和控制手柄可自动对焦，同时Z轴采用自动拼接技术，实现整体全自动测量；

5．标配压电陶瓷马达控制的Z轴测量头，样品垂直方向测量***大高度：400um，测量分辨率PSI模式：0.1nm，VSI模式：1nm；

6．可选配不同放大倍数的标准干涉物镜（2.5X，5X，10X,20X，50X，100X）；

配置控制和快速采集信号采集软件SmartWLI_VIS。