技术指标：
1. 真空室的极限真空度达5*10-5pa，漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台***套，配有大挡板和16套小挡板，手动
控制，开关方便快捷，每个小挡板挡两块30*30mm样片
3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温
精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能
4. 金属蒸发源配4台***带***1000W可控硅调压电源，通过铜电极
连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒
材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交
叉污染
5. 有机蒸发源配10台***带***温控电源，有机源温度为室温-500度，
可以根据材料及用户需求自行调节
6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板***次，可同时装
载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，
并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位，使机械手
推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm
沪公网安备31011502016460号
