真空：极限真空6*10 ^-5 帕

        工作真空6*10 ^-4 帕

        恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟

        不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟

本套设备配有8个有机源及2个金属源

金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置

膜厚探头及膜厚仪有***产或者进口可选

金属蒸发源配有1000w电源

有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃

技术指标：

1. 真空室的极限真空度达5*10^-5pa，漏率为关机12小时≤5pa

2. 真空腔内配有集约样品台***套，配有大挡板和16套小挡板，手动

控制，开关方便快捷，每个小挡板挡两块30*30mm样片

3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温

精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能

4. 金属蒸发源配4台***带***1000W可控硅调压电源，通过铜电极

连接，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒

材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交

叉污染

5. 有机蒸发源配10台***带***温控电源，有机源温度为室温-500度，

可以根据材料及用户需求自行调节

6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板***次，可同时装

载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，

并且通过PLC控制步进电机对每个小挡板做16个定位，使机械手

推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm