TEM用亲水性/疏水性氮化硅窗口
技术参数：
亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层
疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层
表面能：
表面 | 表面能 （mJ/m2） | 标准偏差 |
氮化硅薄膜 | 46.1 | 4.3 |
亲水涂层 | 76.1 | 2.2 |
疏水图层 | 24.6 | 4.4 |
表面粗糙度：
表面 | 表面粗糙度 （nm） | 标准偏差 |
氮化硅薄膜 | Rq=0.65
Ra=0.45 | 0.06
0.02 |
亲水涂层 | Rq=0.57
Ra=0.40 | 0.04
0.03 |
疏水涂层 | Rq=0.66
Ra=0.40 | 0.03
0.05 |
Rq=表面粗糙度; Ra= 平均粗糙度 |
氮化硅薄膜窗规格
窗口类型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
| 50nm | 单窗口，500x500µm | Φ3mm | 200µm |
200 nm | 单窗口，500x500µm | Φ3mm | 200µm |
| 15 nm | 3x3，9窗口， 窗口100x100µm | Φ3mm | 200µm |
沪公网安备31011502016460号
