EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪
价 格：询价
产 地：更新时间：2021-05-31 15:31
品 牌：其他型 号：EMS 550/EMS 500
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EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪
性能特征：
旋转且可倾斜样品台
高质量镀层厚度（2nm 金膜）
精确的可重复性能
均匀沉积厚度
复合样本固定器
全自动控制
低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台
低压溅射
20nm（或20埃）
微电子控制
聚碳酸酯安全壳体
产品参数
EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪
仪器参数：
仪器尺寸 | 450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H） |
工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H） |
安全罩 | 聚碳酸酯 |
重量 | 18Kg |
靶材 | 60 mm 直径 x 0.1mm 厚（金靶为标准靶材） |
样品台 | 60mm（Dia.） ，靶面距在25mm－45mm之间可调 |
真空泵工作范围 | ATM-1x10-2 mbar |
溅射电流 | 0-50mA |
溅射镀膜时间 | 0-4 minutes |
沉积速率 | 0-25nm/分 |
电源配置 | 230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump） |
产品信息：
货号 | 产品名称 | 规格 |
91000 | EMS 550 Sputter Coater complete with Target | 台 |
91000-MA | EMS 500 Manual Sputter Coater | 台 |
91005 | Rotary Vacuum Pump
Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard | 个 |
产品介绍
EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。
沪公网安备31011502016460号
