供应无尘室气体监视器
价 格：询价
产 地：更新时间：2021-01-19 13:24
品 牌：型 号：供应无尘室气体监视器
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关键字： 无尘室气体监视器,日本横河
随着大规模集成电路的发展，从无尘室中清除酸碱性气体或颗粒等气体污染物就成为***个很重要的课题。
在***个64-Mbit的集成电路处理中，设计要求微粒直径为0.25mm甚至更小。
在这里用到了化学增强光学电阻，而这种电阻产生的挥发碱颗粒，如氨质子等，会导致零件的失效。
于是，为了保证正常生产就需要将碱性颗粒的浓度保持在1mg/m3以下。
该系统为了能够高敏感度测量酸碱气体使用了扩散吸取式采样器。
该扩散吸取式采样器吸收液体中的酸碱气体后，再将其用离子色谱进行分析。
还有多通道型（16点）选配件供选择。
两种型号:CM501，主要测量碱性气体;CM502，主要测量酸性气体（氧化物、磷酸、SO2等）。
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沪公网安备31011502016460号
