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微位移测量激光干涉仪ZLM800

价  格:询价

产  地:更新时间:2021-01-19 09:17

品  牌:型  号:

状  态:正常点击量:2656

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上海非利加实业有限公司

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产品功能
    ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,*多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系测量检测物体的振动变化。

性能优势 技术参数

型号:ZLM800
使用高性能PCI或单片机式数据处理器
He-Ne激光平均波长:
632.8 nm
激光稳频精度:
***小时2x10-9±0.002ppm
寿命内2x10-8±0.02ppm
系统精度(0-40℃时):
±0.4ppm
光束直径:
6mm可选3.2mm
激光管突发输出功率:
5mW (激光等***2)
每束光可测量的轴数:
*多6
线性测量距离:
2m
角度测量范围:
± 3.5'
速度:
2m/s
加速:
无限制
采样频率:
内部1MHz,外部40MHz
预热时间:
10分钟
位移测量分辨率:
1.25nm
位移测量精度:
±0.4ppm (μ/m)
角度测量分辨率:
0.003μrad
角度测量精度:
±0.1ppm实测值
数据接口:
积分信号
32 Bit (
实时时间
Dt » 20 ns
数据分析标准:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境:
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
储存环境:
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝

应用案例

l          真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两***双频激光干涉仪的生产商,德***耶拿尔公司是其中的******。
l          全部部件皆在德***生产制造,绝非为了降低成本而在第三方******进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上******将的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l           激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,***小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm
l          干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm
l          计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l          采样频率更快,达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l          被测物体速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。
l          无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l          信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。
l          对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择


 

以下是为中***科学院某项目设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在个案例中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个案例中,用***个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测***个两轴位移平台的运动情况。


 
 
下述案例是为***内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。


ZLM800部分光路图示例


从X、Y和Z方向同时测量被测物体的位移,其中X和Y在***个水平层面上

从X、Y和Z方向同时测量被测物体的位移,其中X和Y不在***个水平层面上

在水平方向同时测量出被测物体的位移、偏摆和俯仰角度变化(上图)
 
在垂直方向同时测量出被测物体的位移、偏摆和俯仰角度变化(上图)
 
 
同时从X和Y方向测量被测物体的位移变化(上图)
 
同时从X和Y方向测量运动平台两个层面的位移变化(上图)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的角度的变化(1)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化(2)
 
同时从X和Y方向测量位移、偏摆和俯仰的变化(3)


资料下载
复杂光路测量的应用.pdf
系统应用简介.pdf

 
 
如果用户有更复杂的光路需求,欢迎来电垂询!
 

产品参数


产品介绍



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