主要特点： 1、闭环DC伺服电动机 XYZ载物台保证***定位和高的聚焦重复性 2、XY操纵杆广泛的动态速度范围 3、利用ASI's Z-轴驱动 4、Z-轴离合器方便转换手动电动聚焦控制 5、LCD显示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按钮方便独立操作 7、控制范围

技术指标：

XY移动范围

Upright:   100 mm x 100 mm

Inverted:   114 mm x 90 mm

XY 轴分辨率

0.088 µm

XY 轴RMS可重复性

< 0.8 µm (typical)

XY 轴***大速率

7 mm/sec

Z 轴分辨率

0.05 µm

Z 轴可重复性

± 0.1 µm (typical)

Z 轴***大速率

0.6 mm/sec

MS-2000 Options

为高精度定位和聚焦控制配备的X, Y, & Z 轴线性编码器

大的载物台顶板，方便显微操作

载物台附加侧板，增大空间

CRIFF 持续反馈聚焦系统，专为长时间聚焦

其他可选螺杆

可选螺杆

Lead Screw Pitch Options

Rotary Encoder Resolution

Maximum Speed

12.70 mm  (Super-coarse)

176 nm

14 mm/sec

6.35 mm  (Standard)

88 nm

7 mm/sec

1.57 mm  (Fine)

22 nm

1.75 mm/sec

0.318 mm  (Ultra-fine)

4.4 nm

0.35 mm/sec

Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 µm per mm.

可选的线性编码器

Axis

Scale Resolution

Scale Accuracy

XY

20 nm

0.5 µm per 10 mm

1.5 µm per 100 mm

Z   (12 mm and 25 mm stroke)

50 nm

0.03 µm per mm