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Q150T新型触摸屏高真空一体化溅射镀膜仪

价  格:询价

产  地:英国更新时间:2021-02-26 15:36

品  牌:Quorum型  号:Q150T

状  态:正常点击量:2305

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Q150T新型触摸屏高真空***体化溅射镀膜仪

特点和优点: 
● 金属溅射或碳蒸发或两者兼备:***体化设计,节约空间
● 精细颗粒溅射:高分辨率场发射扫描电镜(FE-SEM)制样的精细镀膜应用
● 涡轮分子泵高真空系统:允许不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材的溅射镀膜,大大拓宽了可溅射靶材范围,既适合普通SEM、高分辨率FE-SEM镀膜制样应用,也为许多薄膜应用等材料科研领域提供理想的镀膜平台
● 全自动触摸屏控制:快速数据输入,简单操作
● 可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想
● 与镀膜过程和镀膜材料相匹配的预编程自动真空控制
● 精细的厚度控制:使用膜厚监控选项
● “智能”式系统识别:自动感知用户所装的插入式镀膜头的类型
● 高真空碳蒸镀:对SEM和TEM镀碳膜应用非常理想
● 蒸发电流波形控制
● Drop-in落入式快换样品台(标配旋转台)
● 真空闭锁功能:可让工作腔室处于真空状态,改善后续真空效果,或在真空条件下保存样品
● 镀制厚膜能力:***次真空条件下的溅射时间可长达60分钟(材料科研领域的应用)
● 人体工程学设计的整体成型机壳:易维护和易拆装
● 带有本地FTP服务器连接的以太网端口:简单的程序更新
● 设有功率因素补偿,有效利用电能,降低运行成本
● 符合当前电器法规(CE认证)


产品参数

Q150T新型触摸屏高真空一体化溅射镀膜仪

主要技术指标:
● 工作腔室:150mm内径 x 127mm高
● 触摸屏全图像用户界面
● 样品台:标配旋转台
● 真空系统:
    涡轮分子泵:带有空气冷却的涡轮分子泵
    旋转机械泵:双级旋转机械泵
● 溅射电流:0-150mA;可预设膜厚(需FTM选项)或使用内置定时器
● 溅射时间:最长60分钟
● 碳蒸发:稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发,确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。
● 金属蒸发/光阑清洁头:用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。
● 尺寸和重量:仪器机箱:585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)
● 仪器总重量:33.4Kg


产品介绍

Q150T新型触摸屏高真空***体化溅射镀膜仪

Q150T系列:涡轮泵高真空镀膜仪,可进行高性能精细颗粒镀膜,适合场发射电镜制样应用以及制作无定形碳覆形膜及TEM栅网支持膜。基于内部安装的涡轮分子泵抽真空平台,Q150T具有三种版本/型号的镀膜仪:溅射、蒸发镀碳和溅射/蒸镀。在运用***新科技整体成型的机箱上,设有彩色触摸屏,可允许多用户输入和贮存镀膜方案。在同***个易使用系统中,根据所选择的配置,Q150T可以是***台***具水准的离子溅射镀膜仪用于高分辨扫描电镜(SEM)制样,也可以是***台适合SEM或透射电镜(TEM)应用的蒸发镀碳仪,或者是***台兼具溅射和蒸镀两功能的***体化镀膜仪。Q150T具有快速溅射易氧化和不氧化金属靶材的宽可选范围的能力,使其也成为许多金属薄膜研究及电极的应用等材料科学领域的***个理想镀膜平台。
 
高真空性能
Q150T装在***个坚固的特制整体成型机壳中,它容纳了所有工作部件,包括空气冷却的涡轮分子泵。自动进气控制保证了溅射期间***佳的真空条件。真空腔室带有防爆安全罩。Q150T含有的“真空闭锁”允许在不用设备时维持腔室真空,从而改善真空性能。

Q150T系列三种型号
Q150TS:高分辨率磁控离子溅射镀膜仪,可溅射易氧化及不氧化金属(贵金属)。可选各种溅射靶材,包括常用于场发射电镜的铱和铬。
Q150TE:高真空热蒸发镀碳仪,可制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜,对透射电镜(TEM)的应用非常理想。
Q150TES:集合了溅射和蒸镀两种沉积镀膜功能的镀膜系统,沉积镀膜头可在数秒内快速更换,智能逻辑系统自动识别出所装的镀膜头类型,并显示相应的操作设置。
上述每个型号还可选配***系列可选附件,如:金属蒸镀、碳丝蒸镀、膜厚测量等。

触摸屏控制
Q150T的操作核心为简单的触摸屏,即使***不熟练的或偶而使用的操作者,仪器也能使其快速键入和贮存自己的处理数据。程序中已贮存了各种典型溅射及蒸发镀膜的参数资料,以便提供进***步的易操作帮助。

镀膜头选项
具有***系列可互换、即插即用的镀膜头:
溅射头,可使用易氧化及非氧化金属两大类宽范围靶材;并可用另外的溅射头来快速更换镀膜材料(仅为TS及TES版本)
碳棒蒸发头
碳丝蒸发头
金属蒸发/光阑清洁头,包括向上蒸发或向下蒸发两种蒸发方式(仅为TE和TES版本)

样品台选项
Q150T具有各种样品台以满足大部分的应用。所有的样品台更换容易,drop-in式样(无需螺钉)并且高度可调(除旋转行星台)。标准配置为旋转台,可选:
可预设倾斜角度的旋转台
可变角度旋转行星台
用于4”晶圆的平面旋转台
用于显微镜载玻片的样品台

其它选项
用于高样品的加高腔室
膜厚监测附件(FTM)
用于测量低和高真空的全范围真空计





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