光学NanoGauge C10178-02
价 格：询价
产 地：更新时间：2020-12-15 10:28
品 牌：其他型 号： C10178-02
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产品介绍
详细参数
| 型号 | C10178-02 |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 20 nm to 30 μm*1 |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 测量准确性（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | D2-Halogen light source |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 测量时间 | 19 ms/point*5 |
| 光纤连接头 | φ12 sleeve shape |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
| 电源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 210 VA |
| 测量波长范围 | 200 nm to 950 nm |
| 接口 | USB 2.0 |
| 测量模式（特征） | supports UV |
*1 转换时玻璃的折射率是1.5
*2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3 取决于光学系统或物镜放大倍数
*4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件***致
*5 ***短曝光时间
产品特性
● 高速、高准确性（可测膜厚范围（玻璃）：20 nm-30μm）
● 实时测量
● 非恒定膜层的精确测量
● 分析光学常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件测量量子产率，反射率，透射率和吸收率
外形尺寸（单位：mm）
产品优势
C10178型光学纳米膜厚测量系统是***款利用光谱干涉法测量薄膜厚度的非接触式测量系统。光谱干涉法可以快速、高精度以及高灵敏度地测量出薄膜厚度。滨松的产品使用多通道光谱仪PMA作为检测器，测量各种光学滤光片和涂膜厚度的同时还可以测量量子产率，反射率，透射/吸收率等参数。
C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。
沪公网安备31011502016460号
