全面的过程控制

IC/5具有宽广的功能，它可启动抽空过程、控制阀门、启用基片加热器等。这些增强的功能使系统无需配备辅助仪器，从而降低系统的复杂性和成本。IC/5的逻辑与控制功能包含100个可编程的逻辑状态；I/O和TTL继电器电路板提供多至24个继电器输出，28个TTL输入，14个TTL输出，20个计数和20个计时。逻辑状态可与外输入或输出联用。每个状态可包含多至5个功能，并用布尔逻辑链接。IC/5可为源控制或图形记录仪输出提供6个可赋值的模拟输出、沉积速率、膜厚或沉积速率的偏离。

强力的过程处方和数据管理

IC/5膜层控制仪提供若干功能和选件，帮助用户高效地管理过程处方和数据：

丰富的机载储存 – 多至50个过程和250个膜层。允许即时进入您使用的过程数据和处方文件。这个进入性对包含许多膜层的复杂过程，对运行于多种工艺过程的镀膜系统，以及对研制或工艺发展等应用尤其有价值。

磁盘驱动选件 – 用于无限制地储存过程数据和处方。离线编辑软件选件 – 用于在计算机（不是IC/5面板）上，键入或输入数据。用这个软件编程更为方便与有效，尤其对多层膜和多材料过程。数据记录 – 有关的过程信息（***终膜厚，平均沉积速率，运行次数，膜层数等）可用ASCII格式自动记录入遥控通讯端口、打印机端口或磁盘中。采用磁盘驱动选件，IC/5可将数据保存于展开的格式中，使过程的数据储存与处理简易化。数据记录可方便地进行运行后分析与快速的校正作用。对于遵循ISO9000或QA认证的生产，过程跟踪是必不可少的。

Auto Z – 用于多层材料的精密镀膜

IC/5自动确定Z比值的Auto Z技术，提高了镀层膜厚与沉积速率的控制精度，用户不再需要计算声阻（Z）比值3。当在晶体上沉积多种材料时，比值Z随材料在晶体上的比例而变化，因此，Z值的变化是动态的。Auto Z连续修正过程进行中的Z比值。在单***晶体上沉积分层的或合金材料的过程中，为保持精确的膜层厚度和沉积速率，这个功能是尤其重要的。

INFICON石英晶体膜厚控制仪

产品型号: IC/5

多用途的IC/5理想地适用于控制多源、多坩埚、多材料或多过程系统的膜层沉积速率和膜厚。IC/5可满足即使最复杂、最高要求与特殊应用的需要。它擅长于过程控制、逻辑功能、程序和膜层储存容量、过程数据管理，尤其是沉积速率与膜厚的控制。

IC/5产品详细资料：

主要性能参数

1.频率分辨率：在6.0　MHz时0.03　Hz

2.质量分辨率：0.375　ng／cm²

3.感应晶片频率：2.5，　3，　5，　6，　9.5，　10　MHz

4.膜厚显示：0.000～　999.9　K＆Aring；

5.成膜速率：00.0～999　Ang／sec　（0～9.99μm／min）

6.膜层数量：1～999

7.图形显示：256×64　LCD　，CCFL背景照明

全套配置

1.MDC360C主机 一台、振荡器及电缆线 一套、探头 一个、晶片 5片

2.主机尺寸：16.98×3.47×9.355（单位：英寸）

3.前面板宽度18.98英寸

In/MgF2镀膜的AUTO Z精度

AUTO Z大大地提高了多层材料和膜层测量的膜厚精度。

AUTO TUNE – 用于快速设置

IC/5的Auto Tune功能免除了反复试探的步骤，节省了设置时间，它可快速地自动确定源的反馈控制闭环常数。Auto Tune选择若干控制算法中的***佳算法 – 包括三参数PID（正比，积分，微分）算法 – 达到对各种各样源的平稳控制。多传感件测量 – 用于高重复性对某些光学镀膜和其它应用，重复性与均匀度是尤其重要的。IC/5控制仪可集成多至8个传感件的测量，将源的不均匀分布效应降至***小，并确保上***次与下***次镀膜运行之间的膜层沉积速率和***终膜厚良好的***致性。当基片在行星基片架上旋转时，IC/5从各个传感件的位置上同时收集数据，确保取得的信息代表当前源的分布。与单个传感件的控制仪比较，多传感件测量由于控制膜层的固定总合沉积速率、与源分布中的波动无关，大大地改善了膜厚的重复性。当源的分布模式改变时，IC/5适当地调整功率。尽管任何***个传感件上的沉积速率可有相当大的变化而总的沉积速率保持不变。沉积于每个基片上的材料总量受到精确的控制；总的膜厚精度与单个传感件的控制仪相比可提高两至三倍。由于准确地探测源的耗损导致的特性变化，多传感件测量可帮助您

IC/5控制两种材料的同时镀膜。它包含***个编程的比值参数，在变化的沉积速率中控制合金的比率，还有***个交叉灵敏度（或串适）参数，自动补偿来自***个源的材料镀覆至用于控制另***个源的传感件上。Auto Z功能还对IC/5的共沉积有贡献，当不同材料混合在***个晶体上时保持膜厚的精度。容易装入现有的装置中

IC/5备有适配电缆，易于安装至现有的装置中，更换老的INFICON或其它制造厂的膜层控制仪。详细请与我们技术支持部门联系。