脉冲激光沉积系统Pioneer240,180, 120,80 主要特点：

*PLD概念清晰易懂：激光束使靶子表面蒸发，生产出与靶子同样化学组成的膜。
*PLD应用广泛：很多材料在多样的气体环境和很宽的气体压力范围内都可以镀膜。
*PLD节省成本：***束激光能够供多个真空系统使用。
*PLD高效率：在10至15分钟，可生长高质量的样品。
*PLD可升***：当需要大批量生产复合氧化物膜时，Neocera公司将证明PLD作为生产工具的价值。

PLD 是***种复杂材料沉积的有效方法
脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition）是***种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材，生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的独特之处是能量源（脉冲激光）位于真空室的外面。这样，在材料合成时，工作压力的动态范围很宽，达到10-10 Torr ~ 100 Torr。通过控制镀膜压力和温度，可以合成***系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。另外，PLD 是***种“ 数字” 技术，在纳米尺度上进行工艺控制（?/pulse）。

? Neocera 在PLD 设备与工艺开发方面具有不可超越的经验

? Pioneer 系列PLD 系统是全球研发领域***为广泛使用的商业化系统

? Neocera 不仅为客户提供***基本的PLD 系统，也提供完整的PLD 实验室交钥匙方案

脉冲激光沉积系统Pioneer240,180, 120,80 技术参数：

脉冲激光沉积系统Pioneer240,180, 120,80 — 基于卓越经验的创新设计
Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究，建立了获得***佳薄膜质量的临界参数，特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。
这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。
? 很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压（>100 Torr）下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer 系统都具备此功能（压力范围可从额定初始压强到大气压）。这也有益于纳米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°，保持了激光密度在靶材上的***大均匀性，同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点，导致密度均匀性的损失。
? 为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵，消除油的回流对薄膜质量的影响，所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油泵系统。
? 我们的研究表明靶和基片的距离是获得***佳薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离，以达到***优的沉积条件。