APEX纳米划痕仪：

美***CETR公司***新技术纳米划痕仪。本公司还提供其他划痕仪，包括：

超纳米划痕仪，超纳米划痕仪，超纳米划痕仪，超纳米划痕仪，超纳米划痕仪，超纳米划痕仪。

环境划痕仪，环境划痕仪，环境划痕仪，环境划痕仪，环境划痕仪，环境划痕仪。

1. 上/下样品台可以独立的实现多种运动模式：线性运动、旋转运动、振动，还可以通过软、硬件实现各种复杂的复合运动模式；

2．独特的动态加载：（独特的闭环的伺服加载）

       恒力加载模式、线性增量加载模式，通过软件实现对样品的任意动态加载模式。

       这种动态加载方式在高低温控制条件下同样适用。

3．纳米压痕仪和纳米划痕仪以及成像系统共用***测试平台

       可以同时实现压痕和划痕测试，不需要更换压划头或部件。真正意义上的原位成像。

4．微金刚石铲子：（美***CETR公司拥有独***专利）

可实现薄膜与基体准确的结合力测试。薄膜与基体结合力更加准确的测试方法：传统结合力是借助圆锥形的探针做划痕试验来获得，这种方法得到的结合力更多的上反映的是膜材本身的强度，而并非真正意义上的结合力。微金刚石铲子可以很准确的对结合力进行测试。

5．能按照所有的ASTM标准和多种ISO的标准进行测试。

加载系统：精确的自动伺服控制加载，可恒力加载或连续线性加载。

针尖：

络氏和维氏金刚石压头（Rockwell and Vickers Indenter）。

金刚石压头（Diamond Stylus）：2-200 mm。

碳化物、蓝宝石、铁球（Tungsten carbide, sapphire, steel balls）：1.5-25 mm。

钢针（Steel needles）：0.1-1 mm。

专利技术，微金刚石铲子（Patented micro-blades）：0.4-1.0 mm。

载荷范围：1μN-10N，1mN-200N，0.1N-1kN。

分辨率：1μN。

划痕速度：1μm/s-10mm/s，( 100mm/s 可选)

传感器：

声发射: 高频能达到5.5MHz。

摩擦系数。

表面接触电阻。

用于微观图像的数字式光学显微镜：550X。

CCD相机：视频及静止图像。

表面形貌观察及检测：原子力显微镜或三维形貌仪。

划痕模式: 通过独特的闭环的伺服机械系统实现准确动态加载，可以提供恒力加载模式、线性增量加载模式和通过软件实现对样品的任意动态加载模式。

可实时记录法向力／摩擦力／穿透深度／声发射信号，从而可对实际样品准确可靠的获得膜与基底的结合力，或研究薄膜或其他样品表面的摩擦／磨损行为。

实时在线的光学显微镜观察及纪录

样品形状：任何形状

样品尺寸：1μm – 任意尺寸

E：原子力显微镜（AFM）

闭环压电陶瓷扫描平台，机械噪音极低。

接触式原子力显微镜

半接触式原子力显微镜

真正非接触式原子力显微镜

横向力/摩擦力显微镜（LFM）

导电原子力显微镜

磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe）

电容和静电力显微镜（EFM）

高级的纳米光刻和纳米操作能力

高速数据采集，高速三维扫描。

粗糙度测量，适用于高精度抛光表面和粗糙的机加工表面。

划痕、磨痕高度、宽度和体积测量。

表面缺陷分析。

扫描范围：180μm×180μm×14μm。

水平分辨率：0.02nm。

垂直分辨率：0.1nm。

该仪器可广泛的应用于材料科学、薄膜涂层、生物、化工、石油、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具的材料研究和开发，还可以应用于工业产品的失效与可靠性的评价、质量控制及检验；也可以按所有的ASTM 和多种ISO的标准进行试验测量。同时也可以向各类不同领域中的用户提供检测服务。

UMT具有长期的稳定性和可重复性，可以对各种薄膜/涂层通过压/划/磨等测试其结合强度、薄膜弹性模量、薄膜寿命/失效分析、显微（纳米）硬度、显微（纳米）划痕、三维表面形貌、表面粗糙度、断裂韧性、蠕变、润滑/抗磨特性、抗冲击能力、抗划痕能力、耐腐蚀性能、失效以及疲劳等等。