FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A气体质量控制器OMEGA

NIST可追溯校准

读取和控制气体质量流量而无需温度或压力补偿

可提供经济型铝制或耐腐蚀316 SS版本

可倾斜LCD显示屏，便于读取

FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A气体质量控制器OMEGA

产品规格

精度:对于满量程小于100 SLM ±1% FS的装置，在15~25°C（59~77°F）和

0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下具有线性度。对于≥100 SLM的装置，满量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77°F）和 0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下在20~100%的范围内具有线性度；在0~20%的范围内为±3% FS。

重复性：＆plusmn; 0.5％满量程

温度系数：0.15% FS/°C

压力系数：每psi 0.01％FS（0.07 bar）

最大压降：50 psid

响应时间：在25％~100％FS范围内，5秒处于设定流量的±2%范围内

最大气压：70 kg/cm2表压（1000 psig）（适用于最高100 SLM的装置）； 35 kg/cm2表压（500 psig）；最佳1.76 kg/cm（25 psig）

气体和环境温度：5~50°C（41~122°F）

泄露率：对外界环境的最大泄漏率为1×10-7cc/sec氦气

接液材质：

铝制流量计：阳极氧化铝，316 SS，黄铜和FKM O形圈

不锈钢型号：316 SS 和 FKM O型圈

输出信号：

线性0~5 Vdc：1000 Ω最小负载

4~20 mA：50~500 Ω 环路电阻，±20 mV 最大噪声

传感器电源：12~26 Vdc @ 800 mA 标准量程比：40:1

装运重量：1.8 kg (4 lb)

合规性：EN55011 1类，B类；EN50082-1

海拔灵敏度：水平流径，倾斜到20°，校准也不会发生偏移

气体相对湿度:0~70% RH

最小压降

FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A气体质量控制器OMEGA

FMA5400A/5500A系列电子气体质量流量计可控制0~10 SCCM范围内高达100 SLM的多种气体的流量。FMA5400A/5500A利用通过加热管进行的热传递测量气体流量，可提供直接的气体质量流量测量值，并且无需对（规定限值以内的）气体温度或压力进行补偿。 该产品可提供经济型铝／铜结构，适合测量普通气体流量，同时可提供316不锈钢结构，适合有更高耐腐蚀要求的应用。不带***体式显示屏的FMA5400A系列流量计具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模拟量输出，以便进行远程监测；FMA5500A系列流量计兼具***体式3-1/2位数字显示屏和模拟量输出。显示屏可倾斜90度，查看读数方便。显示屏经过校准，可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流量（您可以通过专门订购来获得其它气体校准）。

FMA5400A/5500A质量流量控制器具有内置常闭电磁阀，无论入口压力或出口压力如何变化，都能保持流量恒定。设定值可通过电位计（电位计可通过外壳中的访问窗口访问）进行本地控制，也可通过0-5 Vdc或4~20 mA模拟信号（现场可选）远程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc电源（***大电流800 mA），FMA545PW墙壁插入式插座电源可满足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA***大值（***43、44、45的规格）。型号为FMA545C（单独提供）的配件提供配接式15针""D""型连接器，带8英尺屏蔽电缆用于访问模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500A系列配备的LCD通过通讯插头与下面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD，之后，您必须自行组装组件以便进行LCD的面板安装。

OMEGA FMA系列质量流量计