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技术参数:
观察图像:正像
光管(选件):单目目镜或双目目镜(俯角:25°),十字投影法,带有TV插板,光通比(目镜/TV插板:50/50)
角度分度值: 范围360°, 小读数:6′(使用游标)
目镜(选件):10X,15X, 20X
物镜:3X(375-037),W.D:72.5mm 可选: 1X, 5X, 10X,20X,50X, 100X
透射照明
光源:卤素灯泡(12V,50W)
光学系统:带有可调整光圈的远心照明系统
功能:光强度可调,无 亮度调节
表面照明
光源:卤素灯泡(12V,150W)
光学系统:带有可调整光圈的科勒照明系统
功能:光强度可调,无 亮度调节
显示装置
轴数:2轴(MF-A型)或3轴(MF-B型)
分辨率:0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001″/.00005″/.00001″
功能:调零,方向转换,数据输出(通过RS-232C接口)
电源:100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量:65.5kg(505C,1010C)/69.5kg(2010C)/130kg(2017C)/138kg(3017C)/144kg(4020C)
性能参数:
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型号(XY工作台尺寸)
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505C
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1010C
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2010C
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2017C
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3017C
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4020C
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货号*
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MF-A
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176-661*
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176-662*
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176-663*
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176-664*
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176-665*
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176-666*
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MF-B
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176-681*
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176-682*
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176-683*
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176-684*
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176-685*
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176-686*
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XY工作台行程范围
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50×50mm
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100×100mm
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200×100mm
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200×170mm
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300×170mm
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400×200mm
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Z轴移动范围
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150mm
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150mm
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150mm
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220mm
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220mm
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220mm
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调焦方式
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手动调焦(粗调焦:30mm/rev.,微调焦:0.2mm/rev.)
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测量方式
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线性编码器(2轴型:X/Y轴,3轴型:X/Y/Z轴)
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分辨率(可转换)
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0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001″/.00005″/.00001″
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测量精度(20℃时)
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XY轴:(2.2+0.02L)μm,L为无负载测量长度(mm),JIS B 7153
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指示精度(20℃时)
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Z轴:(5+0.04L)μm,L为测量长度(mm)
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浮动功能
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带有快速释放功能的X和Y轴
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XY工作台台面尺寸
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280×280mm
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280×280mm
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350×280mm
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410×342mm
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510×342mm
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610×342mm
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载物玻璃有效尺寸
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180×180mm
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180×180mm
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250×150mm
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270×240mm
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370×240mm
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440×240mm
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旋转功能
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——
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——
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——
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±5°(左)
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±5°(左)
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±3°(左)
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台面 大承重
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10kg
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10kg
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10kg
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20kg
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20kg
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15kg
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大工件高度
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150mm
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150mm
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150mm
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220mm
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220mm
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220mm
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