全球***次实现在扫描电子显微镜上安装聚焦X射线微区荧光分析!
-提高微量元素分析的灵敏度
-更大的信息深度, 有益于镀层厚度分析
-将电子束微束分析和微区X射线荧光分析结果相结合, 显著改善分析的精度
 SEM能谱分析和微区X射线荧光的优缺点

Ø         SEM能谱分析的特点:

Ø         空间分辨率相对较高: 亚微米***

Ø         检测极限在百分比***: 1~0.1%(weight). 不适合分析微量元素.

Ø         电子束韧致辐射(bremsstrahlung)造成谱背底很大

X射线激发荧光分析的特点:

Ø         检测极限提高20~50倍, 可达到<50ppm

Ø         激发深度可达几十微米, 特别适合多层镀层的分析

Ø         非导电材料可直接分析

Ø         空间分辨率较差, 约几十微米

Ø         结合SEM能谱和X射线荧光两个谱, 可以大大提高分析的精确度.

iMOXS.SEM系统由以下单元组成:

-  小功率﹑空冷的微型聚焦X射线管(阳极材料有多种选择)

-  聚焦型多毛细管X射线光学系统

-  扫描电镜接口和对中法兰

-  高压控制器和电源单元(可选手动控制型或PC控制型)

-  iMOXS-Quant软件包, 包括仪器控制﹑谱图定性和定量分析等模块

 LiAlCaF6:Cr激光晶体的电子束和X射线激发荧光谱的对比。X射线激发荧光谱具有更高的激发效率和更低的背景噪音。

 技术参数

X射线源

Ø         空冷侧窗式微聚焦X射线管

Ø         阳极材料: Cu, Mo, Rh, W (其它阳极可根据用户要求定制)

Ø         最大参数: 50kV, 800μA, 30W

Ø         阳极束斑: 约50 x 50 μm

Ø         侧窗: 100 μm Be

Ø         光闸和4过滤器轮(可选)

Ø         支持各种扫描电子显微镜型号, 如FEI, HITACHI, JEOL, Tescan, ZEISS等

高压和控制器单元

Ø         参数: 50kV, 800μA

Ø         稳定性: 优于 0.02%

Ø         安全锁电子系统

X射线光学

Ø         多毛细管光学系统, 适用于各种型号SEM

Ø         束斑尺寸: 约 60 μm (Mo-K)

Ø         外形尺寸(H x W x D)： X射线源: 279 x 57 x115 mm, 重约3.5kg

Ø         控制单元: 165 x 280 x420 mm, 重约8kg