1. 马达控制Z轴进针: Nano-IM™ 6x6包括***个独特的三马达驱动系统，用来移 动AFM探针逼近样品进行扫描。 每个马达可以在0.33” (8.5 mm)的范围内动作，可以独立控制，带有定位传感器。
2. 花岗岩基座, 抗噪声能力***佳
3. 闭环扫描功能
4. 可以配备: SHARK 模式测量I/V曲线(电流范围:fA-mA), KPM/EFM, 电容模式测P/N参杂, 磁力模式, 与铁电分析仪连用
 

1. 自动XY台范围: X 150mm, Y 150mm, XY台准确度＜10微米
2. XYZ校准传感器: 1nm分辨率
3. XY扫描范围 : 80-90 微米
4. Z轴扫描范围 : 8-10 微米
5. Z轴噪音 ＜0.06nm
6. XY噪音 ＜0.01nm（开环扫描）
7. XY轴非线性度 ＜1%
8. 闭环扫描功能为标配
9. 光学显微镜: 放大1000倍以上,分辨率1.5微米

Nano-IM™ 6x6是***套完整、高性能、优化的用于晶片（wafer）和磁盘(disk)成 像的原子力显微镜系统。
Nano-IM™ 6x6的应用包括研发、工艺开发和工艺控制。该系统包括主机、软件、 电子控制器和AFM样品台。自动化的X-Y台能容纳直径为6”（150mm）厚度为0.33” (8.5 mm)的晶片。 这种样品台能够通过计算机来调整样品和探针之间的角度。 Nano-IM™ 6x6软件在Win XP™操作系统中运行。 Nano-IM™ 6x6样品台很很容易 安装于桌面台上，能在普通的实验室条件下获得高分辨的结果。样品台的设计的 非常有弹性，***大限度的满足各种样品的需要，尽可能利于安装和对准AFM扫描器