钢研纳克扫描电镜假期开关机指南
- 2026-02-03 09:12:31
新春假期将至，各位实验室老师是否已做好精密设备的假期养护准备？扫描电镜的规范开关机，是保障设备节后稳定运行的关键。纳克微束特整理钨灯丝扫描电镜SE-800及场发射扫描电镜FE-1050T/FE-2050T开关机指南，为您的设备假期安全保驾护航。
1、关机方案
根据假期长短制定相应的关机方案。短期假期（≤1周）且实验室不断电，建议执行省电模式；长期假期（＞1周），建议执行整机断电关机程序。
2、标准关机流程
1）短期假期（≤1周），省电模式
① 取出样品，退出所有探测器，将样品台返回至初始位置；
② 关闭仓门抽真空，抽真空不少于3分钟；
③ 在软件中点击省电模式按钮；
④ 退出电镜软件，按正常程序关闭电脑。
2）长期假期（＞1周），关闭高压发射后，省电模式，断电
同上①-④步后，⑤旋停主机后边的旋钮总开关。
1）短期假期（≤1周）
① 打开电脑，登录软件；
② 取消省电模式并抽真空。
2）长期假期（＞1周）
① 打开主机后边的旋钮总开关；
② 后续步骤同上①-②步骤。
1、关机方案
场发射扫描电镜要求实验室假期保持供电。根据假期长短，制定相应的关机方案。
2、标准关机流程
1）对于短期假期（≤1周）
① 选择***大FOV，样品台降至HOME位置，退出BSE探头。卸载主仓室真空，取出样品；
② 关闭仓门抽真空，不少于3分钟；
③ 点击用户界面的省电模式按钮，进入省电模式；
④ 退出SEM操作界面，关闭电脑主机。
注意：切勿关闭电镜总电源。此状态下离子泵、电子枪正常工作。
2）长期假期（＞1周）
① 取出样品，退出所有探测器，将样品台返回至初始位置；
② 关闭仓门抽真空，不少于3分钟；
③ NCS VISION软件，在SEM、FEG HV Control菜单里，点击Power Off，关闭高压；
④ 把扫描电镜切换到省电模式；
⑤ 退出SEM操作界面，关闭电脑主机。
3、标准开机流程
1）短期假期（≤1周），软件切换到省电模式情况
① 打开电脑，登录软件；
② 取消省电模式并抽真空。
2）长期假期（＞1周），仅关闭高压发射，软件切换到省电模式情况
① 打开电脑，登录软件。观察镜筒的真空值（＜1.0×10-7Pa），点击PUMP抽真空；
② 在SEM、FEG HV Control菜单里，点击Power On，开启高压。
03
确保温度、湿度符合设备使用要求。温度17-24℃，相对湿度＜65%。避免粉尘、振动和强电磁干扰。
开启省电模式的设备，确保电源供应稳定。检查压缩空气系统，确保输出压力稳定、无漏气现象。整机关机断电的设备，关注防尘和防潮。
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